CPN 環戊酮 (Cyclopentanone) 是一種飽和環酮類化合物，外觀呈無色透明液體，具有類似薄荷或丙酮的特徵辛辣氣味。
在先進電子製程中，CPN 被視為一種卓越的高極性溶劑。其技術核心在於極佳的化學穩定性與精確的揮發速率。作為電子級產品，本公司所提供的 CPN 嚴格控管金屬離子含量低至 PPB 等級、極低水分。其分子結構賦予了它優異的樹脂溶解能力與滲透力，能在不損害精密底材的前提下，維持製程的高穩定性，是光電與半導體領域不可或缺的特用化學品。
基本資料&物性
CAS Number
120-92-3
外觀
透明無色液體
應用
CPN 在「電子/半導體產業」中主要扮演高性能溶劑與載體的角色。由於其具備適中的沸點與優異的極性，它是光阻劑（Photoresist）配方中最常見的稀釋劑與溶劑之一，能確保光阻膜層的均勻性與附著力。
在「一般工業」中，它則廣泛應用於醫藥中間體與農藥的高端合成，或作為特殊塗料的溶劑。其高溶解度與相對較低的毒性，使其在精細化學品的萃取與清洗流程中展現出替代傳統高毒性溶劑的潛力。
密度
0.947 – 0.950cm3
閃點
31°C (閉杯)
溶解性
| 類別 | 項目 | 溶解程度 | 電子/工業應用說明 |
| 水/極性溶劑 | 水 | 微溶 | 具備一定親水性，易於在後段清洗中移除。 |
| 有機溶劑 | 乙醇、乙醚、丙酮 | 完全互溶 | 可與多種工業溶劑混配，調整揮發曲線。 |
| 高分子樹脂 | 環氧樹脂、聚氨酯、光阻樹脂 | 極佳 | 用作光阻劑主要溶劑，確保薄膜厚度一致性。 |
| 工程塑料/油脂 | 聚碳酸酯、多數油脂 | 良好 | 適用於精密電子零件表面的去油污與脫脂。 |
優勢
物理與熱穩定性
CPN 擁有較高的閃點（相較於丙酮）與適中的揮發速率，這使得它在旋轉塗佈（Spin Coating）製程中能產生極佳的流平性，且在高純度規格下，不會因分解產生雜質。
效能與滲透力
具備較低的表面張力，能輕易滲透進微細的晶圓圖案溝槽中，提升光阻剝離或清洗製程的效率，減少殘留物。
配方相容性
與多種單體與添加劑具有良好的互溶性，能降低配方分層風險。同時因其高效的溶解力，可減少溶劑總使用量。
用途說明
半導體與電子工業
- 光阻劑溶劑：作為 ArF/KrF 光阻劑的主要溶劑組分，調整黏度。
- 晶圓邊緣清洗 (EBR)：有效清除晶圓邊緣多餘的光阻堆積，不留痕跡。
- 電容器電解液：用於特定高性能鋁電解電容器的溶劑介質。
- 平板顯示器 (FPD) 製造：在彩色濾光片生產中作為顏料分散與塗佈溶劑。
一般工業用途
- 醫藥與農藥合成：作為合成環戊胺、殺菌劑等精細化學品的中間體原料。
- 高性能塗料：用於航空、汽車工業的特種抗腐蝕塗料溶劑。
- 精密機械清洗：針對高價值精密零件，取代高毒性溶劑進行除脂處理。
CPN 應用於光阻製程中的優勢
在半導體黃光製程中，溶劑的選擇直接影響到光阻膜的均勻度與後續剝離的乾淨程度。CPN 之所以成為電子級主流溶劑，主要源於其獨特的分子結構特性。
分子極性與溶解力 (Solvency Power)
CPN 具有強烈的羰基（C=O）極性基團，這使得它具備極高的 Hansen 溶解度參數。
- 高親和力：CPN 的極性參數與多數光阻樹脂（如 Novolac 酚醛樹脂、聚羥基苯乙烯 PHS）高度相容。
- 溶脹效應：在剝離製程中，CPN 能迅速滲透進交聯的高分子基質中，引發「溶脹」作用，將大分子鏈撐開，使光阻從晶圓表面軟化並脫離，避免產生硬質殘留。
表面張力與微細結構滲透
隨著製程節點縮小，溝槽（Trench）與孔洞（Via）的寬度已進入奈米級。
- 低表面張力特性：CPN 的表面張力約為 32.6 mN/m，低於許多傳統極性溶劑。
- 毛細作用：低表面張力有助於 CPN 在旋轉塗佈時克服離心力產生的邊緣效應，並在清洗時利用毛細作用深入高長寬比的微細結構，確保「零死角」清洗。
揮發速率與流平性
在光阻塗佈過程中，溶劑的揮發速度決定了膜厚的均勻性。
- 適中的蒸氣壓：CPN 的沸點約為 131°C，其揮發速率慢於丙酮（Acetone）但快於 NMP。
- 流平緩衝：這種「中速揮發」特性提供了一個完美的緩衝期，讓光阻液在晶圓表面有足夠時間流平，減少「放射狀條紋」的產生。
| 比較項目 | CPN (環戊酮) | PGMEA (丙二醇甲醚醋酸酯) | NMP (N-甲基吡咯烷酮) |
| 溶解力 (高分子) | 極強 | 強 | 優異 (但環保規範嚴) |
| 揮發速度 | 中 | 慢 | 極慢 |
| 表面張力 | 較低 (滲透力佳) | 中 | 中高 |
| 環境影響 | 生物降解性好 | 安全性高 | 具生殖毒性疑慮 (限制多) |
| 主要定位 | 高端光阻稀釋、特殊清洗 | 通用型光阻溶劑 | 傳統剝離液、電池漿料 |
安全與儲存建議
儲存條件
應存放於陰涼、乾燥且通風良好的專屬危險品倉庫。遠離火源、熱源與強氧化劑。建議儲存溫度不超過 30°C。
運作環境與操作建議
製程區應配置防爆通風系統，操作人員需配戴防靜電工作服與耐化學品手套（如丁腈橡膠）。嚴禁在操作區吸菸或使用明火。
運輸建議
- UN 編號：UN 2245
- 運輸類別：第 3 類易燃液體。運輸過程中應確保容器密封，防止碰撞洩漏。
